SF6氣體因其絕緣和滅弧性能廣泛應用在變電站中，SF6電氣設備泄漏有如下危害：
(1)SF6氣體雖然無色、無味、無毒，但它是惰性重度氣體， 常沉積在低凹處地方，造成它所覆蓋的處所與空氣隔絕，表現為缺氧、容易污染環境又不易被清除。在工作場所中，當空氣中的SF6氣體泄漏含量超過一定數值時， 有害的分解物成份可能損害人身健康。
(2)SF6電氣設備泄漏造成了SF6氣體損失，氣體純度降低，水、酸和可水解和可水解物雜質成份增加，導致介質質量變差甚至不合格。泄漏也造成浪費，增重了運行維修工作量。
(3)SF6氣體的絕緣介質強度與氣體壓力具有較大的關系。 只有使氣壓保持在設計規定的范圍之內，避免泄漏，才能使電氣設備達到或維持在設計的絕緣水平上運行。
作為變電站管理和操作人員，對泄露SF6氣體的危害要慎之又慎。SF6氣體是一種惰性化學氣體，雖然本身無毒，但大量吸入卻使人因缺氧而窒息。由于SF6比空氣重5倍。當SF6斷路器嚴重泄漏時，大量SF6氣體將充入配電室、電纜溝或地面，并從低于高逐漸堆集，將低凹空間內的空氣“擠走”。此時如果有人進入配電室和電纜溝內工作，將吸入大量的SF6氣體，停留時間過長就會因缺氧而死亡。
因此，在有SF6氣體大量外漏的場所，應開窗通風或用排風設備將SF6氣體排出。只有當SF6氣體在室內稀薄到一定程度后，才允許人員進入。
在有人長期工作的環境中，SF6氣體的允許濃度，美國衛生標準建議可為1000PPm，在我國電力安規中也硬性規定這一安全閾值。
于是，SF6氣體在線監測系統是高壓變電站GIA室內SF6設備不可或缺的運行監測和智能管理的手段，已成為變電站GIS設備的標準配置之一。
